首发出货!

2023-08-09 来源:铜山发布 作者:铜山发布

今天下午,普达特半导体设备举行OCTOPUS平台首发出货仪式,徐州市副市长、铜山区委书记、徐州高新区党工委书记龚维芳,铜山区委常委、徐州高新区管委会常务副主任戴雷,普达特董事长兼CEO刘二壮,高新区领导王敏、李兆海等出席活动。

活动现场,龚维芳、刘二壮等共同启动普达特半导体设备OCTOPUS平台首发出货;刘二壮作致辞。

据介绍,徐州普达特坐落于徐州电子科技园区,总占地面积30000平方米,负责生产应用于半导体晶圆制造全流程的高端单片机清洗设备与化学沉积工艺设备,太阳能电池片制造流程中的各类湿法化学工艺的槽式及链式设备,生产业内首创的双层链式机平台。2022年5月生产基地正式投产,同年6月首台湿法设备成功出货,拥有完全自主知识产权的半导体高端单片清洗机CUBE系列业已获得头部芯片制造企业订单。

普达特OCTOPUS高产能湿法处理平台标配16个腔体,腔体和化学药液供应系统采用同垂直面阵列布局,在腔体颗粒度控制、晶圆工艺技术指标、降低金属残余等方面达到了国外同类产品水平。