1、本项目关键核心技术:
(1)研究坩埚本体中硼杂质的分布规律,通过扫描电镜、辉光放电质谱(GDMS)等分析硼杂质的分布规律、来源途径,制定控制方案来降低坩埚本体中的硼含量的水平。
(2)研究坩埚在硅锭铸锭提纯过程中的硼杂质扩散机理,研究硼杂质在不同晶型石英体系中的扩散效率,针对性开发降低扩散的涂层制备工艺。
2、本项目关键技术指标参数:
(1)实现坩埚本体中的硼含量水平≤1ppm;
(2)实现硅粉定向凝固提纯锭硼含量≤2ppb;
(3)实现硅粉定向凝固提纯锭,铁铬镍铜锌金属杂质总含量≤3ppb;
(4)实现硅粉定向凝固提纯良品率≥68%。
希望与徐州高校合作。
技术领域 | 新材料,无机非金属材料,节能与新能源用材料制备技术 | 需求类型 | 关键技术研发 | 有效期至 | 2025-06-20 |
合作方式 | 合作开发 | 需求来源 | | 所在地区 | |