1、本项目关键核心技术: (1)研究坩埚本体中硼杂质的分布规律,通过扫描电镜、辉光放电质谱(GDMS)等分析硼杂质的分布规律、来源途径,制定控制方案来降低坩埚本体中的硼含量的水平。 (2)研究坩埚在硅锭铸锭提纯过程中的硼杂质扩散机理,研究硼杂质在不同晶型石英体系中的扩散效率,针对性开发降低扩散的涂层制备工艺。 2、本项目关键技术指标参数: (1)实现坩埚本体中的硼含量水平≤1ppm; (2)实现硅粉定向凝固提纯锭硼含量≤2ppb; (3)实现硅粉定向凝固提纯锭,铁铬镍铜锌金属杂质总含量≤3ppb; (4)实现硅粉定向凝固提纯良品率≥68%。 希望与徐州高校合作。
¥ 1,000,000
面议
¥ 410,000
¥ 300,000
确认收藏需求吗